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超纯水设备是水处理设备中的一种，在现代社会中也在不断得到广泛应用，成为一项重要的水处理设备技术。
超纯水是指去除水中的所有导电介质，再将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至最少，使水中除了水分子(H2O)外几乎没有其它任何杂质和有机物的一种水，如今以反渗透设备为主的制造工艺相对比较普遍，此项目以反渗透设备为主要脱盐工艺来制备超纯水。
整个水处理系统分为预处理系统、反渗透为主的脱盐系统、精处理系统，最后达到超纯水水质。整个水处理系统有加热功能，根据不同的用水温度需要调整进水温度。预处理系统由絮凝剂和杀菌剂加药系统、全自动多介质过滤器、全自动活性炭过滤器、预处理产水箱、预处理输送泵组成。
主要通过添加药剂和机械精密过滤器来去除掉水中泥沙、悬浮物、胶体、微生物等物质，保证产水的SDI15<5，满足反渗透的进水条件。反渗透为主的脱盐体系主要由一级反渗透系统和二级反渗透系统组成，特别是一级反渗透系统，为最主要的脱盐系统。由换热器、保安过滤器、一级高压泵、一级反渗透系统、缓冲水箱、二级高压泵、二级反渗透系统、产水水箱组成。
由于反渗透系统允许进水含盐量相对较广，且脱盐率高，所以有能脱盐的作用，减轻后续工艺处理的脱盐负荷。精处理系统主要由高压泵、TOCUV、脱气膜系统、连续电除盐系统(CEDI系统)组成，主要是进一步去除水中的含盐量，减轻后续的精处理系统，提供稳定的水质保障。后续精处理根据分布不同分两股水，由水箱、输送泵、二级TOCUV、抛光混床、换热器、0.1μm精密过滤器组成，之后的产水作为超纯水使用。
超纯水是纯水的基础上进一步将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于18MΩ*cm 或接近18.25MΩ*cm 极限值。超纯水是一般工艺很难达到水平，可以将微滤技术、超滤技术、反渗透技术、 EDI 技术，离子交换技术中的两种及以上的技术，通过合理的工艺设计，设备选型，方可制造出超纯水，电阻率可达18.20MΩ*cm。
集成电路（integrated circuit）是一种微型电子器件或部件。采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构；其中所有元件在结构上已组成一个整体，使电子元件向着微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面迈进了一大步。它在电路中用字母“IC”表示。集成电路发明者为杰克·基尔比（基于锗（Ge）的集成电路）和罗伯特·诺伊思（基于硅（Si）的集成电路）。半导体工业大多数应用的是基于硅的集成电路。
超纯水工作原理
1. 水进入纯化系统，主要部分流入树脂 / 膜内部，而另一部分沿模板外侧流动，以洗去透出膜外的离子。
2. 树脂截留水中的溶存离子。
3. 被截留的离子在电极作用下，阴离子向正极方向运动，阳离子向负极方向运动。
4. 阳离子透过阳离子膜，排出树脂 / 膜之外。
5. 阴离子透过阴离子膜，排出树脂 / 膜之外。
6. 浓缩了的离子从废水流路中排出。
7. 去离子水从树脂 / 膜内流出。
超纯水设备特点
1. 透水量大，脱盐率高。正常情况下≥98%
2. 对有机物，胶体、微粒、细菌、病毒、热源等有很高的截留去除作用。
3. 能耗小，水利用率高，运行费用低于其它脱盐设备。
4. 分离过程没有相变，具有可靠稳定性。
5. 设备体积小，操作简单、容易维护，适应性强，使用寿命长